[发明专利]结晶区温度梯度调节器与坩埚下降法单晶生长装置

摘要

一种结晶区温度梯度调节器，由保温隔热材料制作的座板和保温隔热材料制作的动板组成，动板放置在座板所设置的凹槽中，其与凹槽为动配合。一种坩埚下降法单晶生长装置，包括上端封闭、下端开口的整体式炉体，安装在炉体上的加热器，安装安瓿的坩埚套，放置坩埚套的坩埚托，与坩埚托连接的升降旋转驱动机构，安装在炉膛结晶区B的上述结构结晶区温度梯度调节器；结晶区温度梯度调节器的座板固定在炉体上，旋转放置在座板凹槽中的动板，便可调节座板凹槽环面上调温孔I和动板环面上调温孔II的重合面积，从而调节从高温A区向低温C区辐射和传导的热流量，使结晶区B温度梯度可在大范围内调整，易于获得窄温区、大温梯的温场分布。

主权项

1、一种结晶区温度梯度调节器，其特征在于由保温隔热材料制作的座板(1)和保温隔热材料制作的动板(5)组成，座板(1)上设置有一底部为平面的凹槽(2)，凹槽的中心部位开设有大于坩埚套外径的通孔I(3)，凹槽的环面上开设有调温孔I(4)，动板(5)的形状和径向尺寸与座板上设置的凹槽(2)相匹配，动板(5)中心部位开设有与通孔I尺寸相同的通孔II(6)，动板(5)环面上开设有调温孔II(7)，调温孔II与所述凹槽环面上开设的调温孔I(4)形状、尺寸、数量、间距相同，动板(5)放置在座板(1)所设置的凹槽(2)中，其与凹槽为动配合。