[发明专利]用于光刻设备的工件台有效
| 申请号： | 200810042356.6 | 申请日： | 2008-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN101354537A | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | 张锋;齐芊枫 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/027 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于光刻设备的工件台，包括下支撑板、调平调焦机构、接片手、曝光台和柔性调节机构。所述调平调焦机构分别与曝光台和下支撑板连接，所述接片手与下支撑板固定连接，在交接硅片时相对不动，所述曝光台上具有供接片手从中穿过的开口，在调平调焦机构的作用下可相对下支撑板作升降运动，依靠所述柔性调节结构，垂向水平向解耦，并实现精确定位。本发明具有如下优点：在省却接片手驱动机构情况下，工件台仍具有调平调焦功能和上下片功能，减小了工件台尺寸，使工件台整体结构更加简单紧凑，成本低廉；而且，相比于其他工件台结构方案，该方案重心下降，有效增强了工件台运动平稳性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 设备 工件 | ||
【主权项】：
1、一种用于光刻设备的工件台，包括下支撑板、调平调焦机构、接片手、曝光台和柔性调节机构，所述调平调焦机构分别与曝光台和下支撑板连接，其特征在于：所述接片手与下支撑板固定连接，所述曝光台上具有供接片手从中穿过的开口，所述曝光台在调平调焦机构的作用下可相对下支撑板作升降运动。
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