[发明专利]一种基于五杆机构的平衡质量运动装置及其控制方法无效
| 申请号： | 200810037800.5 | 申请日： | 2008-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN101290478A | 公开（公告）日： | 2008-10-22 |
| 发明（设计）人： | 吴立伟;邹恒杉;吕洋;袁志扬;陈锐 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G05B11/32;G05D3/12 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于五杆机构的平衡质量运动装置及其控制方法，在工件台双层平衡质量系统中，通过控制四个力矩电机来实现工件台双层平衡质量系统的跟随运动补偿和独立运动回零功能，采用对偶结构设计方法来改进双曲柄五连杆运动执行装置，实现机构运动的完全解耦；根据结构对偶设计方法制定相应的执行器系统、测量系统和系统整体控制，并通过优化解耦算法来提高平衡质量水平方向的运动控制精度，保证Rz向精度达到微弧度精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 机构 平衡 质量 运动 装置 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
1、一种基于五杆机构的平衡质量运动装置，其特征在于，包括：平衡质量；平衡质量框架；气浮系统；运动限位装置；和平衡质量系统运动纠偏与防漂装置；所述平衡质量通过所述平衡质量系统运动纠偏与防漂装置连接到所述平衡质量框架上；所述平衡质量框架置于所述气浮系统上；所述运动限位装置位于所述平衡质量系统框架的四个顶角点位置上。
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