[发明专利]集成电路缺陷定位测试系统及实现方法

摘要

本发明提供一种集成电路缺陷定位测试系统及实现方法，属于电子测试设备领域，涉及一种对集成电路缺陷进行定位测试的系统及系统的实现方法。本发明所描述的系统中，主要包括有：控制分析单元，激光发生器，激光分配器，激光扫描装置，声波震荡发生器，光学显微装置，样品加电模块，微光探测装置，定额电流电压测量装置，定额电压电流测量装置，以及减震台与暗室箱体等。利用本发明，可直接对集成电路的各种不同类型缺陷，实现直观的物理位置缺陷定位功能，能够及时、准确地发现集成电路的缺陷，从而改进产品质量、加快研发速度、提高生产工艺水平。

主权项

1.一种集成电路缺陷定位测试系统，其特征在于该系统包括：控制分析单元，是装载有集成电路缺陷定位测试程序的微型计算机，包括有用以对测试结果实现图像处理功能的程序，以及用以分析电流电压测试数据的测试单元；激光发生器，用于产生1064nm激光与1340nm激光的功能模块；激光分配器，是连接在所述的激光发生器和激光扫描装置之间的，用于分配不同强度和种类激光的功能模块；激光扫描装置，是设置在激光与样品之间，用于实现激光在样品表面的步进扫描功能的机电装置；声波震荡发生器，是用于加载声波震荡并作用于样品的机电功能装置；光学显微装置，是用于对样品表面拍照的光学显微装置；样品加电模块：是用于向被测试样品加载电子信号的电路模块，包括有微探针装置、接口插槽、电流加载源和电压加载源；微光探测装置，是一种探测样品的微光辐射的光电子信号的机电功能模块；定额电流电压测量装置，指的是能提供定额电流，并对被测试样品的电压信号进行A/D转换，并传输到控制分析单元中的电路结构；定额电压电流测量装置，指的是能提供定额电压，并对被测试样品的电流信号进行A/D转换，并传输到控制分析单元中的电路结构；减震台与暗室箱体，能提供减震功能与暗室功能，是承载样品台及探测与测量装置的结构部件。