[发明专利]一种无损的测定原子力显微镜探针形状参数的方法无效
| 申请号： | 200810036160.6 | 申请日： | 2008-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN101256070A | 公开（公告）日： | 2008-09-03 |
| 发明（设计）人： | 朱国栋;曾志刚;严学俭 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/26;G01N13/16 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于测量技术领域，具体为一种无损伤的测定原子力显微镜探针形态参数的方法。通过用待测探针分别扫描分散状聚苯乙烯微球和密排状聚苯乙烯微球，获取一定参数后，用扫描时探针和微球的几何关系所确定的方程式来计算即可求得待测探针的针尖曲率半径r和锥角θ。本发明还阐述了微球样品的制备方法。本发明操作简单，花费的成本与时间少，测试精度高，结果可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无损 测定 原子 显微镜 探针 形状 参数 方法 | ||
【主权项】：
1.一种无损测定原子力显微镜探针形状参数的方法，其特征在于具体步骤如下：(1)用待测探针扫描分散状微球样品，从所得扫描图像中，读取微球直径的左侧扩展值wL和右测扩展值wR；(2)用待测探针扫描密排状微球样品，从所得扫描图像中，提取微球紧密排列方向的通过微球最高点的剖面图；在剖面图中先确定两个紧密靠近聚苯乙烯微球的最高点，然后找到两最高点相距的中点，再读取剖面图中该中点的位置与聚苯乙烯微球最高点之间的高度差h；(3)利用测得的wL、wR和h值，计算待测探针的形状参数：针尖曲率半径r和锥角θ。
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