[发明专利]一种零位自动可调的调焦调平测量装置及其使用方法有效
| 申请号： | 200810035900.4 | 申请日： | 2008-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN101261450A | 公开（公告）日： | 2008-09-10 |
| 发明（设计）人： | 陈飞彪;李志丹;徐兵;田湍;肖可云;潘炼东 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种零位自动可调的调焦调平测量装置及其使用方法，在调焦调平精测测量装置中增加一组自动可调机构，该可调机构用于对调焦调平测量装置进行零位调整。当该可调机构位于其初始位置时，调焦调平测量处于精测模式，而当该可调机构不位于其初始位置时，调焦调平测量处于粗测模式。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 零位 自动 可调 调焦 测量 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1、一种调焦调平测量装置，包括第一反射镜组、投影目标、第二反射镜组、第三反射镜组、第四反射镜组、光电转换传感器、信号处理控制器，其特征在于，所述调焦调平测量装置还包括自动可调机构；测量光经过所述第一反射镜、所述投影目标、所述第二反射镜经硅片表面反射后，经由所述第三反射镜、所述第四反射镜后入射到所述光电转换传感器上，所述光电转换传感器输出的电信号进入所述信号处理控制，所述自动可调机构位于测量光路上。
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