[发明专利]一种零位自动可调的调焦调平测量装置及其使用方法

权利要求书

1、一种调焦调平测量装置，包括第一反射镜组、投影目标、第二反射镜组、第三反射镜组、第四反射镜组、光电转换传感器、信号处理控制器，其特征在于，所述调焦调平测量装置还包括自动可调机构；测量光经过所述第一反射镜、所述投影目标、所述第二反射镜经硅片表面反射后，经由所述第三反射镜、所述第四反射镜后入射到所述光电转换传感器上，所述光电转换传感器输出的电信号进入所述信号处理控制，所述自动可调机构位于测量光路上。

2、根据权利要求1所述的调焦调平测量装置，其特征在于：所述自动可调机构可以位于所述第一反射镜组之前，可以位于所述第一反射镜组与所述第二反射镜组之间，可以位于所述第三反射镜组之前，可以位于所述第三反射镜组与所述第四反射镜组之间，还可以位于所述第四反射镜组之后。

3、根据权利要求1所述的调焦调平测量装置，其特征在于：所述自动可调机构包括一个平行偏转平板及其驱动机构。

4、根据权利要求1所述的调焦调平测量装置，其特征在于：所述自动可调机构内部存在伺服反馈的测量系统，同时该自动可调机构可接受调焦调平测量装置电信号处理得到的与硅片表面位置线形对应的电压值作为其伺服控制的反馈。

5、一种使用权利要求1所述的调焦调平测量装置的方法，其特征在于：包括如下步骤：

(1)调焦调平初始化时，所述自动可调机构回其初始位置；

(2)将所述自动可调机构锁死，进入默认的精测模式；

(3)获取所述光电转换传感器输出的电信号；

(4)进行电信号处理；

(5)得到与硅片表面位置线形对应的电压值；

(6)比较所述与硅片表面位置线形对应的电压值与精粗测临界域值电压，如果当前与硅片表面位置线形对应的电压值小于或等于精粗测临界域值电压，则经过插值/标定/拟合环节产生精测测量结果；如果当前与硅片表面位置线形对应的电压值大于精粗测临界域值电压，所述自动可调机构进入伺服控制状态；

(7)产生粗测测量结果。

6、根据权利要求5所述的方法，其特征在于：所述初始化时，所述自动可调机构回到的初始位置可为所述自动可调机构自身的物理零位，也可是某个特定的位置。

7、根据权利要求5所述的方法，其特征在于：所述自动可调机构进入所述伺服控制状态后，根据所述自动可调机构的自身测量系统的当前读数，及调焦调平测量装置电信号处理得到的与硅片表面位置线形对应的电压值共同产生调焦调平的粗测测量结果。