[发明专利]一种表征金属有机双层薄膜传质微观机制的方法

摘要

本发明属薄膜传质表征技术领域，具体涉及一种表征金属有机双层薄膜传质微观机制的方法。其特点是利用异质元素作标示，通过SIMS分析金属有机多层薄膜体系在传质完成后的元素分布得到其传质的微观机制。该方法能有效地研究金属有机物络合过程中传质的微观机制，具有重要的科学价值。

主权项

1.一种表征金属有机双层薄膜传质微观机制的方法，其特征是利用异质金属元素作标示，研究金属有机多层薄膜体系中传质的微观机制，具体步骤为：步骤一：确定待测金属与有机物完全络合的薄膜最佳厚度比在基板上蒸镀不同厚度的待测金属层，再在这些待测金属层上分别蒸镀相同厚度的有机物薄膜，置于一定条件下使其充分传质，测量传质过程完成后的透射光谱，并与金属有机络合物的标准透射谱对比，最接近标准谱的金属有机物薄膜厚度比为最佳厚度比；步骤二：确定异质金属选择与待测金属性质相近的金属元素，按不同顺序在基板上蒸镀含金属元素层和待测金属层的双层金属薄膜，对该双层金属薄膜进行SIMS二次离子质谱分析，确定金属层间的互扩散现象，为了准确得到传质规律，要求待测金属与金属元素层间没有明显的互扩散现象，据此确定异质金属；步骤三：制备含异质金属薄膜、待测金属薄膜及有机物薄膜的三层薄膜体系，并使其发生电化学反应生成金属有机络合物薄膜，其中待测金属膜与有机物膜的厚度比小于最佳厚度比，异质金属薄膜、待测金属薄膜的总厚度与有机物膜的厚度比大于最佳厚度比；步骤四：采用SIMS二次离子质谱分析步骤三所得金属有机络合物薄膜中的元素分布，从而分析金属有机双层膜传质的微观机制。