[发明专利]基于机器视觉的光刻装置对准系统与对准方法

摘要

本发明提供了一种基于机器视觉的光刻装置对准系统与对准方法，其采用具有不同周期的光栅作为对准标记，通过光学照明系统和成像系统，可得到对准标记的±1级衍射光相干暗场图像，该图像由CCD摄像机和图像采集卡进行采集，并由图像处理模块进行图像信号处理和对准操作，最终获得精对准位置，实现晶圆与基底台之间的对准。本发明采用图像处理与对准标记的光栅相位信息相结合的方法，在获得较高对准精度的前提下，整个系统更为简单。

主权项

1、一种基于机器视觉的光刻装置对准系统，实现晶圆与基底台的对准，其特征在于，所述的对准系统包括：位于晶圆或基底台上的对准标记，依次设置的光源模块，照明模块，成像模块，图像采集模块，图像处理模块，和位置数据采集与运动控制模块；该位于晶圆或基底台上的对准标记设置在成像模块和位置数据采集与运动控制模块之间；所述的对准标记由一组用于粗对准的大周期光栅分支与单个用于精对准的小周期光栅分支组成；所述的成像模块形成对准标记的±1级衍射光相干暗场图像，其为明暗相间的周期性光斑条纹；所述的图像采集模块包含通过电路连接的CCD摄像机与图像采集卡，采集对准标记的暗场图像；所述的图像处理模块在上位机中运行，其对采集到的对准标记的暗场图像进行图像信号处理，得到各个光栅分支的对准信号；利用对准算法得到对准位置，实现基底台与晶圆的对准。