[发明专利]一种可提高检测精准度的抛光终点检测方法

摘要

本发明提供了一种可提高检测精准度的抛光终点检测方法，用于检测氧化物的化学机械抛光工艺的抛光终点。现有技术在进行氧化物的抛光终点检测时并未对所检测到波峰的扭矩进行检测而判定其为抛光终点，易在抛光速度过慢时出现抛光终点的误检测现象。本发明不仅在进行一预设时段的抛光后再进行抛光终点检测，还判断所检测到波峰对应的扭矩是否在正常终止扭矩范围，且在是时才判定所检测到波峰为抛光终点。采用本发明可避免在抛光速度过慢时出现的抛光终点误检测事件发生，如此可大大提高抛光终点检测的精准度和可靠性，进而大大提高氧化物化学机械抛光工艺的抛光质量。

主权项

1、一种可提高检测精准度的抛光终点检测方法，用于检测氧化物的化学机械抛光工艺的抛光终点，该方法包括以下步骤：a、对氧化物进行一预设时段的化学机械抛光工艺；其特征在于，该方法还包括以下步骤：b、判断化学机械抛光工艺的抛光曲线是否出现波峰，若是则继续步骤c，若否，则继续步骤b；c、判断该波峰所对应的扭矩是否在一正常终止扭矩范围，若是则判定该波峰为抛光终点，若否则返回步骤b。