[发明专利]改进型音叉式微机械陀螺无效
| 申请号： | 200810033685.4 | 申请日： | 2008-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN101514897A | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | 王安麟;刘广军;姜涛;张正福 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01P9/04;B81B7/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 吴林松 |
| 地址： | 200092上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种改进型音叉式微机械陀螺，由第一基板及其上的两组对称检测用栅形固定电极、固定于第一基板上的中央锚点和两侧锚点、悬于第一基板上方的第二基板组成；第二基板包括可沿驱动方向振动的两个结构相同且对称的驱动质量块、中央锚点与驱动质量块连接的第一弹性梁、两侧锚点与驱动质量块连接的第二弹性梁、连接两个驱动质量块的耦合弹性梁、可沿垂直于驱动方向的检测方向振动的两个结构相同且对称的检测质量块、检测质量块与驱动质量块之间的连接弹性梁组成。本陀螺采用微电子机械系统技术制作，在大气环境下工作，具有较高的灵敏度和带宽。 | ||
| 搜索关键词： | 改进型 音叉 式微 机械 陀螺 | ||
【主权项】：
1.一种改进型音叉式微机械陀螺，其特征在于：(a)由第一基板(1)及其上的两组对称检测用栅形固定电极(2)、固定于第一基板上的中央锚点(3)和两侧锚点(4)、悬于第一基板上方的第二基板(5)组成；(b)第二基板包括可沿驱动方向振动的两个结构相同且对称的驱动质量块(6)、连接中央锚点与驱动质量块的第一弹性梁(7)、连接两侧锚点与驱动质量块的第二弹性梁(8)、连接两个驱动质量块的耦合弹性梁(9)、可沿垂直于驱动方向的检测方向振动的两个结构相同且对称的检测质量块(10)、检测质量块与驱动质量块之间的连接弹性梁(11)组成。
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