[发明专利]统计过程控制方法和装置无效
申请号: | 200810032266.9 | 申请日: | 2008-01-04 |
公开(公告)号: | CN101477358A | 公开(公告)日: | 2009-07-08 |
发明(设计)人: | 杨斯元;简维廷 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G05B19/418 | 分类号: | G05B19/418 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李 丽 |
地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种统计过程控制方法和应用该方法的统计过程控制装置,所述方法包括,采集生产过程中待分析的原始数据,将该原始数据分为非连续分布类型数据、具有自相关性类型数据、非正态分布类型数据和正态分布类型数据,对于不同类型的数据,分别确定其控制界,并根据所确定的控制界对生产过程进行监控和/或分析。本发明统计过程控制方法通过对数据的分类,简化了控制图的分类,并解决了对于正态和非正态分布的有限数据点的控制界的计算问题,实现了以往无法实现的对海量参数的复杂系统的监测,节省了数据处理的时间,提高了工作效率。 | ||
搜索关键词: | 统计 过程 控制 方法 装置 | ||
【主权项】:
1. 一种统计过程控制方法,其特征在于,包括:采集生产过程中待分析的原始数据;将该原始数据分类,分为非连续分布类型数据、具有自相关性类型数据、正态分布类型数据和非正态分布类型数据;对于上述各类数据,分别确定其控制界;按照所述控制界对生产过程进行监控和/或分析。
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