[发明专利]带自修整功能的磨损均匀性好的固结磨料抛光垫有效
| 申请号： | 200810022741.4 | 申请日： | 2008-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN101327577A | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | 朱永伟;左敦稳;李茂;李军;周亮;王军;康静 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | B24D13/14 | 分类号： | B24D13/14;B24B37/04;B24B29/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 | 代理人： | 瞿网兰 |
| 地址： | 210016*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种带自修整功能的磨损均匀性好的固结磨料抛光垫，其特征是其加工面上设有三个密度不等的环形区，三个环形区从内向外的宽度比为8～18∶10∶20～30，三个环形区对应的磨料的密度比为0.55～0.85∶1∶0.50～0.70。本发明可以使得在抛光加工过程中抛光垫的面形精度长时间保持，从而提高工件的面形精度，对加工大尺寸硅片、硬盘基片以及光学器件有着很大的意义，能从根本避免反复修整抛光垫的麻烦，可以大大提高生产效率和降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 修整 功能 磨损 均匀 固结 磨料 抛光 | ||
【主权项】：
1、一种带自修整功能的磨损均匀性好的固结磨料抛光垫，其特征是其加工面上设有三个密度不等的环形区，三个环形区从内向外的宽度比为8～18∶10∶20～30，三个环形区对应的磨料的密度比为0.55～0.85∶1∶0.50～0.70。
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