[发明专利]基于微电子机械悬臂梁通过式微波功率检测器及制备方法

摘要

基于微电子机械悬臂梁通过式微波功率检测器及制备方法利用多层材料梁释放后存在的残余应力，使梁产生向上弯曲，从而在不检测时获得极低的插入损耗。通过改变悬臂梁的长度以及宽度，就可以改变微波功率耦合器的耦合度；将终端电阻制作成半环状，将热电堆的热端嵌入其中，进一步提高传热效率。该微波功率检测器实现了微波功率的通过式检测。微波功率检测器以砷化镓为衬底，在砷化镓衬底上有一层铝镓砷薄膜，从左至右分别为基于悬臂梁结构的微波功率耦合器和微波功率传感器。微波功率耦合器包括CPW地线、中心信号线、下拉电极、介质层、悬臂梁、悬臂梁锚区。微波功率传感器包括CPW地线、中心信号线、终端电阻、热电堆、压焊块、金属散热片。

主权项

1.一种基于微电子机械悬臂梁通过式微波功率检测器，其特征在于该微波功率检测器以砷化镓(3)为衬底，在砷化镓衬底上设一层铝镓砷薄膜(4)，在铝镓砷薄膜(4)的上表面设有基于悬臂梁结构的微波功率耦合器和微波功率传感器。微波功率耦合器包括第一CPW地线(1-1)、中心信号线(1-2)、介质层(1-3)、下拉电极(1-4)、悬臂梁(1-5)、悬臂梁锚区(1-6)，铬金属层(1-7)；其中，第一CPW地线(1-1)、中心信号线(1-2)、下拉电极(1-4)顺序并排排列，中心信号线(1-2)、下拉电极(1-4)上表面的中部设有介质层(1-3)，悬臂梁(1-5)固定在中心信号线(2-2)上的悬臂梁锚区(1-6)处，在悬臂梁(1-5)的上表面设有铬金属层(1-7)，悬臂梁(1-5)的活动端位于介质层(1-3)的上方。微波功率传感器包括第二CPW地线(2-1)、中心信号线(2-2)、终端电阻(2-3)、热电堆(2-4)、压焊块(2-5)、金属散热片(2-6)；其中，中心信号线(2-2)横向位于中间，中心信号线(2-2)通过终端电阻(2-3)分别与两侧的第二CPW地线(2-1)连接，热电堆(2-4)位于终端电阻(2-3)与金属散热片(2-6)之间。