[发明专利]一种太阳能选择性吸收涂层及其制备方法

摘要

一种太阳能选择性吸收涂层及其制备方法，涂层包括衬底层、吸收层；其特征是，衬底层上沉积阻挡热扩散膜层、反射层、吸收层、微不平表面层；衬底层和反射层均为Ni薄膜；阻挡热扩散膜层为MgO薄膜；吸收层由金属Ni和介质MgO组成的复合陶瓷薄膜；微不平表面层为Ni－C薄膜且采用刻蚀溅射使表面形成粗糙的凹凸不平状。该涂层具有增透、耐磨，具有可见－近红外光谱高吸收率，红外光谱极低发射率，真空烘烤热稳定性好，可用于300℃以上的高温工作温度，吸收率高，发射比较小。采用镍靶和氧化镁靶双靶溅射制备，可提高高温使用范围选择性吸收涂层的热稳定性，降低红外发射率，同时生产工艺简单化并且降低成本。

主权项

1、一种太阳能选择性吸收涂层，包括衬底层、吸收层，其特征是：所述的衬底层为Ni薄膜；衬底层上沉积有阻挡热扩散膜层，该阻挡热扩散层为MgO薄膜；阻挡热扩散膜层上沉积有反射层，该反射层为Ni薄膜；所述的吸收层为由Ni、MgO构成的金属-介质复合陶瓷薄膜，吸收层沉积在反射层上；吸收层表面沉积有微不平表面层，微不平表面层为Ni-C薄膜，Ni-C薄膜的表面设为凹凸不平状且表面突起间隔尺寸为0.4～2.1μm。