[发明专利]基片支架组件无效
| 申请号： | 200810008212.9 | 申请日： | 2008-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN101246835A | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 克里斯多佛·理查德·马洪;阿布海杰特·德塞;罗伯特·T·海拉哈拉 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/00;C23F4/00;C23C16/458;C23C16/44;C23C14/50;C30B25/12 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 基片支架组件包括具有电极的支架块和用于在加工室中保持支架块的支臂，该支臂具有穿过其中的沟槽。该支臂具有附着到支架块的第一夹具和附着到室组件的第二夹具。盖锁包括安放在直接在第一夹具之下的支臂中的环形圆盘，用于覆盖沟槽中的电导体并将其与室环境密封。 | ||
| 搜索关键词： | 支架 组件 | ||
【主权项】：
1.一种用于在具有加工区域和室组件的加工室中支撑基片的支架组件，该支架组件包括：(a)包括电极的支架块；(b)用于在加工室中保持支架块的支臂，该支臂具有穿过其中的沟槽，并且该支臂包括附着到支架块的第一夹具和附着到室组件的第二夹具；(c)多个穿过支臂沟槽的电导体；以及(d)包括环形圆盘的盖锁，该环形圆盘的形状和尺寸适于安放在直接在第一夹具之下的支臂中，该盖锁用于覆盖支臂沟槽中电导体并将其与加工区域的环境密封。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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