[发明专利]蒸发坩埚和具有合适的蒸发特性的蒸发设备无效
| 申请号： | 200810006546.2 | 申请日： | 2008-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN101265566A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 霍尔格·澳尔巴赫 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明描述了一种蒸发坩埚。所述蒸发坩埚包括：导电腔管(120)，其具有形成封闭空间的壁，所述腔管具有管轴线(2)；第一电连接(162；182)；第二电连接(162；182)，其中所述第一电连接和所述第二电连接适用于提供基本平行于所述管轴线的加热电流；至少一个进料开口(134)；以及至少一个分配孔(170；470；670)。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 坩埚 具有 合适 特性 设备 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发坩埚，包括：导电腔管(120)，其具有形成封闭空间的壁，所述腔管具有管轴线(2)；第一电连接(162；182)；第二电连接(162；182)，其中所述第一电连接和所述第二电连接适用于提供基本平行于所述管轴线的加热电流；至少一个进料开口(134)；以及至少一个分配孔(170；470；670)。
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