[发明专利]镀膜系统及其隔离装置有效
| 申请号： | 200810003917.1 | 申请日： | 2008-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN101481789A | 公开（公告）日： | 2009-07-15 |
| 发明（设计）人： | 刘志宏;陈志明;苏濬贤;陈志玮;许文通;林春宏 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 彭久云 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镀膜系统及其隔离装置。镀膜系统用以对物件进行镀膜。镀膜系统包括工作站与隔离装置。物件设置于工作站。隔离装置用以对于物件进行隔离。隔离装置包括本体、第一工作流体、第二工作流体、第一导引部与第二导引部。本体用以产生第一能量。第一导引部用以导引第一工作流体通过本体而形成第一工作区，并且于第一工作区对于物件进行涂覆。第二导引部用以导引第二工作流体通过本体，于第二工作流体受到本体所产生的第一能量的激发而形成第二工作区，利用第二工作区对于第一工作区与物件进行隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 系统 及其 隔离 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种隔离装置，包括：本体，产生第一能量；第一工作流体；第二工作流体；第一导引部，导引该第一工作流体通过该本体而形成第一工作区；以及第二导引部，导引该第二工作流体通过该本体，该第二工作流体受到该本体所产生的该第一能量的激发而形成第二工作区，其中该第二工作区对该第一工作区进行隔离。
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