[其他]等离子体处理系统有效
| 申请号： | 200790000069.8 | 申请日： | 2007-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN201352541Y | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | E·曼;C·弗里奇 | 申请（专利权）人： | 许廷格电子两合公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/683 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 曾 立 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种等离子体处理系统(1)，它具有一个向一等离子体腔(9)输送HF功率的HF功率发生器(11)，及一个包括一个电极(8)、一个DC电压源(2)及一个设置在电极与DC电压源(2)之间的电连接中的滤波装置(7)的、静电的试样保持装置。其中，所述滤波装置(7)包括至少一个耗散部件(R2)。由此可以减小不希望的振荡对所述DC电压源(2)的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 系统 | ||
【主权项】：
1、等离子体处理系统(1)，它具有至少一个向一等离子体腔(9)输送HF功率的HF功率发生器(11)，及一个包括一个电极(8)、一个DC电压源(2)及一个设置在电极与DC电压源(2)之间的电连接中的滤波装置(7)的、静电的试样保持装置，其中，所述滤波装置(7)具有至少一个耗散部件(R1，R2)，其特征在于：所述滤波装置(7)被安装在一个金属壳体内，该金属壳体与地连接。
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