[发明专利]加热处理设备有效
| 申请号： | 200780053002.5 | 申请日： | 2007-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN101669016A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 熊谷晃;柴垣真果;沼尻宪二;江上明宏 | 申请（专利权）人： | 佳能安内华股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/60 | 分类号： | G01J5/60 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇;陈立航 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供一种能够将温度始终控制为恒定温度并能够在高于或等于1850摄氏度的高温范围内进行温度控制的加热处理设备。该加热处理设备包括：处理室；加热物支撑构件，其设置在所述处理室中；加热器，其设置在所述加热物支撑构件内；以及温度测量部件，用于测量所述加热物支撑构件的温度，其中，所述温度测量部件设置在透过窗的外部，所述透过窗设置在所述处理室的周壁中，并且从所述加热物支撑构件放射的红外线能量能够透过所述透过窗，以及所述温度测量部件包括收集从所述加热物支撑构件放射的红外线能量的集光器和基于红外线中的两个波长的强度之间的比率来计算温度的计算单元。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 处理 设备 | ||
【主权项】：
1.一种加热处理设备，包括：处理室；加热物支撑构件，其设置在所述处理室中；加热器，其设置在所述加热物支撑构件内；以及温度测量部件，其测量所述加热物支撑构件的温度，其中，所述温度测量部件设置在透过窗的外部，所述透过窗设置在所述处理室的周壁中，并且从所述加热物支撑构件放射的红外线能量能够透过所述透过窗，以及所述温度测量部件包括收集从所述加热物支撑构件放射的红外线能量的集光器和基于红外线中的两个波长的强度之间的比率来计算温度的计算单元。
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