[发明专利]回收和再利用工艺气体的方法和设备无效
| 申请号： | 200780047239.2 | 申请日： | 2007-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN101663079A | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | W·H·惠特洛克 | 申请（专利权）人： | 琳德股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 白益华;王 颖 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及处理排气流的方法和系统，所述排气流包含可再循环组分与其它组分和杂质的混合物，所述方法和系统产生含全部可再循环组分的高纯度产品。还产生一股或多股不含可再循环组分的废弃物流。本发明尤其涉及制造半导体器件中使用的有价值可再循环组分的回收。 | ||
| 搜索关键词： | 回收 再利用 工艺 气体 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种回收工艺气体的方法，其包括：在第一洗涤器中用水洗涤含工艺气体的排气流，得到第一洗涤流；在第二洗涤器的催化剂床中用含水溶液洗涤第一洗涤流，得到第二洗涤流；压缩该第二洗涤流；在热交换器处理中干燥所述第二洗涤流；过滤所述第二洗涤流，得到干燥的压缩流；进一步干燥所述干燥的压缩流，得到超干流；冷却所述超干流，得到富含工艺气体的液体回流流和工艺气体减少的蒸气流；蒸馏所述液体回流流，回收基本上纯的工艺气体。
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