[发明专利]压力传感器模块有效
| 申请号： | 200780044175.0 | 申请日： | 2007-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN101542257A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 山本敏;桥本干夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社藤仓 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;H01L29/84 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 雒运朴;李 伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的压力传感器模块(10)，具有压力传感器(11)和层叠基板(21)。在压力传感器(11)的膜片部(14)附近形成电极(17)。层叠基板(21)层叠有多个基板(21a、21b)，并使压力传感器(11)内置于其内部。构成压力传感器(11)的膜片部(14)的一面暴露于空间部。通过本发明，可以提供易于小型化、薄型化且能够高密度安装的压力传感器模块。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 模块 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器模块，具备：压力传感器，其具有将半导体基板的一部分薄板化后得到的膜片部、以及配置在该膜片部的附近的电极；和层叠基板，其具有将该压力传感器内置于其内部并使所述膜片部的至少一面暴露的空间部、以及与所述电极电连接的布线部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社藤仓，未经株式会社藤仓许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200780044175.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于环境监测的仪器和方法
- 下一篇：分光模块
