[发明专利]具有至少一层多元氧化物混晶层的层体系有效
| 申请号： | 200780037657.3 | 申请日： | 2007-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN101522950A | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | J·拉姆;B·威德里格;M·安特;C·沃尔拉布 | 申请（专利权）人： | 奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫） |
| 主分类号： | C23C30/00 | 分类号： | C23C30/00;C23C14/08;C23C14/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 石克虎;李连涛 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 一种用于涂覆工件的PVD层体系，其包括至少一层组成为(Me11-xMe2x)2O3的多元氧化物的混晶层。其中Me1和Me2各包含元素Al、Cr、Fe、Li、Mg、Mn、Nb、Ti、Sb或V中的至少一种。Me1和Me2的元素各不相同。在PVD层体系中的混晶层的晶格具有刚玉结构，其通过在用X射线衍射法所测的所述混晶层的谱中的至少3条属刚玉结构的谱线表征。还公开了用于制备多元氧化物的混晶层的真空涂覆方法以及相应的经涂覆的工具和构件。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 至少 一层 多元 氧化物 混晶层 体系 | ||
【主权项】：
1. 一种用于涂覆工件的PVD层体系，该层体系含至少一层下列组成的多元氧化物的混晶层：(Me11-xMe2x)2O3其中Me1和Me2各包含元素Al、Cr、Fe、Li、Mg、Mn、Nb、Ti、Sb或V中的至少一种，并且Me1和Me2的元素各不相同，其特征在于，该混晶层的晶格具有刚玉结构，其通过在用X射线衍射法所测的该混晶层的谱中的至少3条，优选4条特别是5条属刚玉结构的谱线表征。
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