[发明专利]单裸片微机电系统声学换能器及制造方法有效
| 申请号： | 200780010986.9 | 申请日： | 2007-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN101427593A | 公开（公告）日： | 2009-05-06 |
| 发明（设计）人： | 皮尔明·布龙巴赫;莫滕·贝格·阿诺尔德斯;莫滕·金尼鲁普 | 申请（专利权）人： | 普尔斯门斯公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈 炜;李春晖 |
| 地址： | 丹麦罗*** | 国省代码： | 丹麦;DK |
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| 摘要： | 本发明涉及一种声学微机电系统(MEMS)换能器，其形成在基于半导体材料的单个裸片上且具有彼此相对的正表面部分和背表面部分。本发明还涉及一种制造这种声学MEMS换能器的方法。所述声学MEMS换能器包括形成在裸片中以由此提供背部容积的空腔，所述背部容积具有朝向空腔的开口的上部和朝向空腔的底部的下部。背板和隔膜被布置成基本上平行于在这两者之间的空气隙且至少部分地延伸跨越空腔的开口，所述背板和隔膜随裸片的正表面部分一起整体形成。空腔的底部以裸片为边界。隔膜可以被布置在背板上方且至少部分地延伸跨越背板。优选地，在裸片中形成背面开口，所述开口从裸片的背表面部分延伸到空腔底部。可以通过密封材料来声学上密封背面开口的一部分或全部。 | ||
| 搜索关键词： | 单裸片 微机 系统 声学 换能器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种声学微机电系统(MEMS)换能器，其形成在基于半导体材料的单个裸片上且具有彼此相对的正表面部分和背表面部分，所述声学MEMS换能器包括：空腔，其形成在所述裸片中以由此提供背部容积，其中所述背部容积具有朝向所述空腔的开口的上部和朝向所述空腔的底部的下部，以及背板和隔膜，其被布置成基本上平行于在所述背板和隔膜这两者之间的空气隙并且至少部分地延伸跨越所述空腔的开口，所述背板和隔膜随所述裸片的正表面部分一起整体形成，其中所述空腔的底部以所述裸片为边界。
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