[发明专利]监测和控制等离子体制造工艺的技术

摘要

一种用于监测等离子体中的离子种类的飞行时间离子感测器包括外壳。漂移管定位于所述外壳中。提取器电极在所述外壳中定位于所述漂移管的一第一末端处，以便自等离子体吸引离子。多个电极定位于所述漂移管的一第一末端处并接近所述提取器电极。偏压所述多个电极，以便使被吸引的离子的至少一部分进入所述漂移管，且向所述漂移管的一第二末端漂移。一离子侦测器接近所述漂移管的所述第二末端而定位。所述离子侦测器侦测与所述被吸引离子的所述至少一部分关联的到达时间。

主权项

1、一种监测等离子体中的离子种类用的飞行时间离子感测器，其特征在于所述飞行时间离子感测器包含：外壳；漂移管，其定位于所述外壳中；提取器电极，其在所述外壳中定位于所述漂移管的第一末端处，所述提取器电极经配置以执行对来自等离子体的离子的吸引与排斥中的至少一种；多个电极，其定位于所述漂移管的第一末端处并接近所述提取器电极，所述多个电极经偏压，以便使所述被吸引的离子的至少一部分进入所述漂移管中，且向所述漂移管的第二末端漂移；以及离子侦测器，其接近所述漂移管的所述第二末端而定位，所述离子侦测器侦测与所述被吸引的离子的至少一部分相关联的到达时间。