[发明专利]用于旋转机器的状态测量设备

摘要

在编码器4的内半部分和外半部分中，设置具有彼此不同的特征边界倾斜方向的第一特征变化部分9和第二特征变化部分10。一对传感器6a₁(6b₁、6c₁)和6a₂(6b₂、6c₂)的检测部分与两个特征变化部分9和10的三个圆周位置相对。操作器具有根据传感器6a₁、6a₂、6b₁、6b₂、6c₁和6c₂的输出信号中的相位差，计算位移x、y、z和倾斜Φ_x、Φ_z的功能。

主权项

1. 一种用于旋转机器的状态测量设备，该设备包括：旋转机器，其包括：在使用状态不旋转的静止部件；和可旋转地支撑于所述静止部件的旋转部件；以及状态测量装置，其包括：与所述旋转部件或与所述旋转部件一起旋转的部件同心地设置的编码器；支撑并固定于所述静止部件的传感器；以及操作器，其中，所述编码器具有：设置在所述编码器的圆周表面上的检测表面；和沿着圆周方向以相等距离交替地设置在所述检测表面上的第一特征变化部分和第二特征变化部分，其中所述第一特征变化部分和第二特征变化部分的特征沿着圆周方向以相等间距交替地变化，并且与另一个特征变化部分的特征变化的相位不同，所述第一特征变化部分和第二特征变化部分的至少一个特征变化的相位沿着轴向逐渐变化，其中，所述传感器装置包括三个或更多个传感器，用于响应于检测部分与其相对的部分的特征的变化而改变输出信号，其中一个传感器的检测部分与第一特征变化部分相对，另一个传感器的检测部分与第二特征部分相对，而又一个传感器的检测部分与一部分相对，该部分与在第一特征变化部分和第二特征变化部分中与其他传感器的检测部分相对的那部分不重叠，其中，所述操作器具有根据所述传感器的输出信号之间的相位差的至少两个相位差，沿着两个或更多个方向，计算所述编码器相对于所述静止部件的位移或倾斜的功能。