[实用新型]采用十字导轨的光刻机硅片台双台交换装置无效
| 申请号： | 200720187345.8 | 申请日： | 2007-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN201181387Y | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;张鸣;汪劲松;徐登峰;尹文生;胡金春;杨开明;李广;闵伟;段广洪 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/68 |
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| 地址： | 100084北京市100*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 采用十字导轨的光刻机硅片台双台交换装置，该装置主要应用于半导体光刻机中。本实用新型含有运行于预处理工位的硅片台、运行于曝光工位的硅片台和两个十字导轨驱动单元，每个十字导轨驱动单元包含X向直线电机、Y向直线电机和用以推动硅片台运动的推杆；十字导轨驱动单元与硅片台之间通过真空轴承吸住，带动硅片台作大范围X、Y方向运动。本实用新型采用两个双自由度驱动单元，使装置结构大大得以简化，有效降低了同步控制的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 十字 导轨 光刻 硅片 台双台 交换 装置 | ||
【主权项】：
1.一种采用十字导轨的光刻机硅片台双台交换装置，该装置含有运行于预处理工位的硅片台(1)和运行于曝光工位的硅片台(1)，所述的两个硅片台设置在一基台(11)上，并通过气浮轴承悬浮在基台表面，其特征在于：该装置采用两个十字导轨驱动单元(4)，分别设置在基台(11)相对两边的边缘上，每个十字导轨驱动单元(4)包含X向直线电机(5)、Y向直线电机(7)和推杆(8)，X向直线电机(5)的定子安装在基台边缘的凹槽中，动子安装在十字导轨驱动单元的下底部；Y向直线电机(7)与X向直线电机(5)叠层布置，并与X向直线电机(5)正交；所述的十字导轨驱动单元与硅片台之间通过真空轴承吸住，真空轴承布置在推杆与硅片台的侧面。
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