[实用新型]连续式镀膜设备的自转载具无效
| 申请号： | 200720181340.4 | 申请日： | 2007-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN201116306Y | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 郭勋聪 | 申请（专利权）人： | 钰衡科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周春发 |
| 地址： | 台湾省台南县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型关于一种连续式镀膜设备的自转载具，包括：一底座、复数个齿轮、复数个治具组、一基准边齿条、一对应边齿条、二传动柱及二传动轮，其中，该基准边齿条及该对应边齿条设置于镀膜设备腔体的两侧，当该传动轮被驱动使该自转载具往前移动时，与该基准边齿条及该对应边齿条啮合的复数个齿轮因而旋转，进而带动该复数个治具组随着该齿轮旋转而自转。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 镀膜 设备 转载 | ||
【主权项】：
1、一种用于连续式镀膜设备的自转载具，该连续式镀膜设备由一腔体、一自转载具及一溅镀源组成，其特征在于，该自转载具包括：一底座，设有一基准边凹槽及一对应边凹槽；复数个齿轮，设置于该基准边凹槽及该对应边凹槽中；复数个治具组，各治具组分别连接于各齿轮并设置于该底座之上；一基准边齿条，啮合于该基准边凹槽内的齿轮；一对应边齿条，啮合于该对应边凹槽内的齿轮；二传动柱，设置于该底座的底面二侧；以及二传动轮，承接该传动柱；其中，该基准边齿条及该对应边齿条固设于该腔体的两侧。
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