[实用新型]连续式镀膜设备的自转载具

说明书

技术领域

本实用新型关于一种自转载具，其特别关于一种用于连续式镀膜设备的自转载具。

背景技术

真空镀膜技术是表面处理工程领域中的重要技术之一，真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘等许多优于固体材料本身的性能，获得显著技术经济效益的作用。

按，于2004年12月21日公告的中国台湾新型专利第M253601专利证号，名称为：「具自转功能之镀膜夹具」，揭露一种真空镀膜制程中使用的镀膜夹治具，其特征为：一镀膜夹治具为两金属板，以复数固定柱固定，金属板中设有复数夹具孔，可以安放可活动的夹具组，其中夹具孔孔径必需大于夹具组圆杆直径，夹治具中间设有一转轴，辅以螺帽两边锁固，并连结至台车外部利用马达带动，使之公转，并藉以放置于夹治具台车上。

一般而言，为因应真空镀膜技术应用层面日广，为增加相关镀膜产品的产业竞争力，必须降低真空镀膜制程的成本，目前真空镀膜制程中所使用的镀膜设备多为连续式(In-Line)多腔体(Multi-chambers)作业流程，在连续式真空镀膜流程中，真空腔体依照物品加载方向，依序分为低真空、高真空、高真空及低真空等四个真空环境，而连续式镀膜流程与传统批次式(batch type)或晶圆式(wafer type)生产方式相比可以减少高达60％以上生产成本，并可大幅降低设备成本及厂房空间，故本实用新型的实用新型人针对连续式镀膜设备设计出一种适用于连续式镀膜设备的自转载具，以期增进真空镀膜制程的效率。

实用新型内容

本实用新型主要目的在于提供一种连续式镀膜设备的自转载具，其可适用于立式或卧式的镀膜设备，不仅增进了真空镀膜制程的效率，更可透过齿条与齿轮的设计，使得载具移动时治具得以自转，更进一步加以提升待镀工件的镀膜均匀度。

本实用新型连续式镀膜设备的自转载具的技术方案为：一种用于连续式镀膜设备的自转载具，该连续式镀膜设备由一腔体、一自转载具及一溅镀源组成，包括：一底座，设有一基准边凹槽及一对应边凹槽；复数个齿轮，设置于该基准边凹槽及该对应边凹槽中；复数个治具组，各治具组分别连接于各齿轮并设置于该底座之上；一基准边齿条，啮合于该基准边凹槽内的齿轮；一对应边齿条，啮合于该对应边凹槽内的齿轮；二传动柱，设置于该底座的底面二侧；以及二传动轮，承接该传动柱；其中，该基准边齿条及该对应边齿条固设于镀膜设备腔体的两侧，当该传动轮被驱动使该自转载具往前移动，与该基准边齿条及该对应边齿条啮合的复数个齿轮因而旋转，进而带动该复数个治具组随着该齿轮旋转而自转。

其中，于该底座更包括设置有复数个槽洞。

其中，该治具组更包含复数个治具套筒，分别穿过该复数个槽洞固接于该复数个齿轮。

其中，该治具组由复数个治具串接固定而形成，并且插置于该治具套筒中与该齿轮连动。

其中，该治具为一圆形治具，设有一作为各治具相互串接之用的中心套筒。

其中，该镀膜设备为立式或卧式的镀膜设备。

本实用新型的有益效果为：因相较于传统的水电镀技术，真空镀膜技术更具有环保、可回收等特性，加上真空镀膜方法已成为近代薄膜合成的主流，其能在各种不同的基材表面，利用真空溅镀的方式制作各种功能性薄膜，具有低成本、速度快等优点。故本实用新型提供一种连续式镀膜设备的自转载具，其可适用于立式或卧式的镀膜设备，不仅增进了真空镀膜制程的效率，更可透过齿条与齿轮的设计，使得载具移动时治具得以自转，更进一步加以提升待镀工件的镀膜均匀度。

附图说明

图1说明本实用新型连续式镀膜设备的自转载具的立体示意图；

图2说明本实用新型连续式镀膜设备的自转载具的组件分解图；

图3说明本实用新型连续式镀膜设备的自转载具的俯视图；以及

图4说明本实用新型连续式镀膜设备的自转载具另一实施例的前视图。

【图号说明】

1自转载具        11底座

111基准边凹槽    112对应边凹槽

113槽洞          12齿轮

13治具组         131治具