[实用新型]CTP版材性能评价用全固态红外激光扫描曝光系统无效
申请号: | 200720173126.4 | 申请日: | 2007-09-14 |
公开(公告)号: | CN201083957Y | 公开(公告)日: | 2008-07-09 |
发明(设计)人: | 李港;张大鹏;李平雪;黄道波;陈檬 | 申请(专利权)人: | 北京工业大学 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;G03F7/20;G03F7/09;H01S3/00 |
代理公司: | 北京思海天达知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张慧 |
地址: | 100022*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型为CTP版材性能评价用全固态红外激光扫描曝光系统,主要用于CTP版材性能评价,包括版材的敏感度和分辨率的评价。本装置主要包括有830nm激光器、光学变换部分和控制系统三部分。激光器为830nm钛宝石全固态激光器;导光聚焦装置包括反射镜和聚焦透镜;控制系统由电脑、数控装置及三维移动平台组成。该系统光源为830nm激光器,输出830纳米近基模圆光斑高斯光束,控制系统由电脑编程通过控制三维移动平台的运动实现CTP版材定位曝光,以及由电脑编程精确控制曝光时间或者曝光所用激光脉冲个数,可以精确到利用一个激光脉冲来实现曝光。且本系统激光功率高,操作方便,性能稳定。 | ||
搜索关键词: | ctp 性能 评价 固态 红外 激光 扫描 曝光 系统 | ||
【主权项】:
1.CTP版材性能评价用全固态红外激光扫描曝光系统,其特征在于:主要包括有光源(I)、控制系统(II)和光学变换部分(III),其中,光源(I)为全固态钛宝石830nm激光器(1),控制系统(II)包括有电脑(6)、数控装置(5)和三维移动平台(4),光学变换部分(III)包括有830nm反射镜(2)和第一聚焦透镜(3),CTP版材固定于三维移动平台(4)上,电脑(6)通过第一数控装置(5)控制三维移动平台(4)的移动,电脑还通过第二数控装置(7)控制全固态钛宝石830nm激光器的出光和关光,全固态钛宝石830nm激光器(1)发出的光经过光学变换部分(III)的反射镜(2)和聚焦透镜(3)后作用在CTP版材上。
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