[实用新型]微机电摆动激光扫描装置

摘要

本实用新型为一种微机电摆动激光扫描装置，包含一微机电光学控制模块、一前级扫描组、一后级扫描组与一外壳，其中，微机电光学控制模块包含一激光光源与一微机电摆动式反射镜，其是安排在目标面的对面侧的同一侧，使激光束朝向目标面一侧发出，前级扫描组的反射镜逆转方向，并沿着微机电摆动式反射镜的中心轴与摆动旋转轴所构成的平面射入微机电摆动式反射镜的中心点，使扫描激光束以对称在微机电摆动式反射镜中心轴的扫描方式进入后级扫描组的fθ镜片组，激光光源与微机电摆动式反射镜是布置在同一侧上，并与准直镜先完成光学校准而形成一校准完成的模块，以避免现有技术的反复校准程序，可降低所述的装置组装的校准时间、提高精度，有效降低成本。

主权项

1.一种微机电摆动激光扫描装置，其特征在于：其包含一微机电光学控制模块、一前级扫描组与一后级扫描组，其中；所述微机电光学控制模块，其是布置在目标面的对面同一侧，包含至少一激光光源以及一微机电摆动式反射镜与一光学控制电路板，其中所述的激光光源发射激光束射至前级扫描组；所述的微机电摆动式反射镜通过摆动而使入射的光束反射至后级扫描组；所述的光学控制电路板产生并接受电子信号用以控制激光光源与微机电摆动式反射镜；前级扫描组，包含至少一反射镜片，将由激光光源射入的激光束逆转方向，并使逆转后的激光束沿着微机电摆动式反射镜的中心轴及其摆动旋转轴所构成的平面射入微机电摆动式反射镜的中心点；后级扫描组，包含至少一fθ镜片组，是对应在微机电摆动式反射镜反射后的激光束，使反射后的激光束射入fθ镜片组，再投射在目标面作等速率线性扫描。