[实用新型]全自动往复式宽幅X射线薄膜测厚仪

摘要

一种用于宽幅薄膜厚度在线动态测量的测厚仪器，采用X射线作为发射源，通过接收端接收，PLC采集接收信号用于处理。上位机显示薄膜厚度变化的实时曲线通过模头控制器在线实时调整螺栓加热功率，实现薄膜厚度趋于平均。该测厚仪响应速度快，精度高，且安全可靠。

主权项

1.一种全自动往复式宽幅X射线薄膜测厚仪，其特征在于，由下列各部分组成：扫描上探头、扫描下探头、机架、机械传动装置、PLC系统、现场控制柜、操作面板、上位机、模头控制器；所述的机架是安装测厚仪的基础，扫描上探头和扫描下探头安装于其上；所述的机械传动装置，根据来自PLC控制信号，通过伺服电机带动测厚仪在机架上做往复式运动；所述的扫描下探头中主要放置x射线光管、高压发生装置、PLC200、模拟量采集模块以及电压分配板；其作用是发射x射线，并通过模拟量采集模块采集x射线光管的工作状态以及上探头内部配件的温度，并由PLC200传送到控制柜中的PLC300，然后再由PLC300传送到主控制室中的上位机进行存储和显示；所述的扫描上探头中主要放置x射线探测器、PLC200CPU、模拟量采集模块以及电压分配板；通过模拟量采集模块采集x射线探测器温度和x射线接收强度，其中温度信号由PLC200CPU传送到控制柜中的PLC300，然后再由PLC300传送到主控制室中的上位机进行存储和显示；PLC300接收到扫描探头传送的x射线发射强度电压信号和x射线接收强度电压信号，根据厚度计算方法计算薄膜的厚度；所述的PLC系统包括上下扫描探头中PLC200CPU及模拟量采集模块和控制柜中的PLC300CPU、开关量输入/输出模块和轴定位模块；所述的现场控制柜中主要放置PLC、伺服功率驱动器、直流电源、控制开关；所述的控制柜中的轴定位模块、伺服功率驱动器以及PLC构成了测厚仪的伺服定位系统；所述的操作面板用于在现场对测厚仪进行基本的运动控制；所述的上位机完成数据采集、存储、实时曲线显示以及模头控制的功能；所述的模头控制器接受上位机发出的控制信号调整模拟量输出值，改变模头螺栓的加热功率，从而调整薄膜厚度。