[实用新型]用于化学机械研磨装置的研磨台间清洗装置无效
| 申请号： | 200720144196.7 | 申请日： | 2007-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN201079923Y | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 牛晓翔;瞿治军 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B55/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蔡光亮 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于化学机械研磨装置的研磨台间清洗装置，包括底座、设置于底座上表面的凹槽，设置于凹槽内的第一喷嘴，设置于底座两端的第二喷嘴，以及第二喷嘴的供水液路，底座一端固定于化学机械研磨装置的十字金属轴，其中：凹槽靠近十字金属轴的一端延伸至底座的外壁，此端设置有第三喷嘴；凹槽远离十字金属轴的一端的侧壁上设置有第四喷嘴；底座内部设有第三喷嘴的供水液路和第四喷嘴的供水液路。本实用新型可以对研磨台间清洗装置的凹槽及凹槽内的喷嘴，以及化学机械研磨装置的十字金属轴进行在线清洗，提高了化学机械研磨装置的自清洁能力，可降低颗粒超标和制品划伤的可能性，提高制品的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 机械 研磨 装置 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种用于化学机械研磨装置的研磨台间清洗装置，包括底座、设置于底座上表面的凹槽，设置于凹槽内的第一喷嘴，设置于底座两端的第二喷嘴，以及第二喷嘴的供水液路，底座一端固定于化学机械研磨装置的十字金属轴，其特征在于：所述凹槽靠近十字金属轴的一端延伸至底座的外壁，此端设置有第三喷嘴；所述凹槽远离十字金属轴的一端的侧壁上设置有第四喷嘴；所述底座内部设有第三喷嘴的供水液路和第四喷嘴的供水液路；第三喷嘴的供水液路一端与第三喷嘴连接，另一端与第二喷嘴的供水液路连通；第四喷嘴的供水液路一端与第四喷嘴连接，另一端与第二喷嘴的供水液路连通。
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