[实用新型]真空镊子用吸附片和真空镊子有效

专利信息
申请号: 200720126520.2 申请日: 2007-08-08
公开(公告)号: CN201122586Y 公开(公告)日: 2008-09-24
发明(设计)人: 小柳和真 申请(专利权)人: 新日本无线株式会社
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 代理人: 郭润湘
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 实用新型提供一种不会遮蔽操作员的视野而可使吸附片的插入尺寸恒定的真空镊子用吸附片和真空镊子。包括:镊子主体部,在内部形成了吸引通路;吸附片,与连接在镊子主体部前端的平板基板接触;吸附片的表面呈具备了吸引口的平面状,在其背面,包括突出于背面一侧、相互隔开配置的多个凸起部,在其内部,包括吸附片表面的吸引口和与真空镊子主体内部的吸引通路连通的内部吸引通路。
搜索关键词: 真空 镊子 吸附
【主权项】:
1. 一种真空镊子用吸附片,是与平板基板的一个表面接触,构成吸附保持上述平板基板的真空镊子的前端部的吸附片,其特征在于,包括:平面状表面部,具备了与上述平板基板的一个表面相接而吸附的吸引口;上述吸附片内部的内部吸引通路,在与上述吸引口连通的同时,与在内部具备了吸引通路的上述真空镊子的主体部连接;侧面部,具备了与上述吸引通路连接的上述内部吸引通路的连接口;以及多个凸起部,在上述平面状表面部背面的上述侧面部一侧,突出于上述平面状表面部的背面一侧,相互隔开配置。
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