[实用新型]直拉单晶炉双CCD测量光学系统有效
申请号: | 200720111369.5 | 申请日: | 2007-06-27 |
公开(公告)号: | CN201081707Y | 公开(公告)日: | 2008-07-02 |
发明(设计)人: | 曹建伟;李林;张俊;顾临怡 | 申请(专利权)人: | 杭州慧翔电液技术开发有限公司 |
主分类号: | G01C11/36 | 分类号: | G01C11/36;G01B11/08 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 | 代理人: | 唐银益 |
地址: | 310013浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种测量装置,旨在提供一种直拉单晶炉双CCD测量光学系统。该系统包括依次连接的光路转换系统、CCD摄像头、图像处理卡和微型计算机;光路转换系统用于将图像保持同视角同视场区域同时分解到两个CCD摄像头上;CCD摄像头用于接收光路转换系统传送来的图像并转换成图像信息传送给图像处理卡;图像处理卡用于将CCD摄像头传送来的图像信息进行初步处理并传送给微型计算机;微型计算机用于处理图像处理卡传送来的信息并进行计算分析获得测量结果。本实用新型满足测量直径相差很大的物体和很高的测量速度的要求,使得采用低像素的模拟CCD摄像头在引晶与等径工艺段都能满足控制需要的测量分辨率。 | ||
搜索关键词: | 直拉单晶炉双 ccd 测量 光学系统 | ||
【主权项】:
1.一种直拉单晶炉双CCD测量光学系统,包括CCD摄像头、图像处理卡和微型计算机,其特征在于,还包括光路转换系统,所述CCD摄像头为两个,所述光路转换系统、CCD摄像头、图像处理卡和微型计算机依次连接;所述光路转换系统用于将图像保持同视角同视场区域同时分解到两个CCD摄像头上;所述CCD摄像头用于接收光路转换系统传送来的图像并转换成图像信息传送给图像处理卡;所述图像处理卡用于将CCD摄像头传送来的图像信息进行初步处理并传送给微型计算机;所述微型计算机用于处理图像处理卡传送来的信息并进行计算分析获得测量结果。
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