[实用新型]一种有盖的蒸镀用的石英舟无效

专利信息
申请号: 200720103895.7 申请日: 2007-03-20
公开(公告)号: CN201016121Y 公开(公告)日: 2008-02-06
发明(设计)人: 张福俊;宋晶路;李远;李庆彤;贾恩博;万翔;顾旭;赵谡玲 申请(专利权)人: 北京交通大学
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 北京市商泰律师事务所 代理人: 李鸿华;毛燕生
地址: 100044北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种有盖的蒸镀用的石英舟,它是在现有的石英舟上加装了一个封盖,在封盖上中央对称开有两个或四个小孔均布,封盖为水晶圆形封盖,封盖下侧有止口,止口与石英舟内延形成动配合。主要用来蒸发贵重材料,该石英舟可以控制药品的蒸发速度,只让药品从小孔蒸出,以节约材料。实验后保存药品时,封盖隔离灰尘杂质,防止药品与空气中的水、氧发生反应而变质。
搜索关键词: 一种 蒸镀用 石英
【主权项】:
1.一种有盖的蒸镀用的石英舟,其特征是:在石英舟上加装一个封盖,在封盖上中央对称开有两个或四个小孔均布。
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