[实用新型]一种密封品检漏装置

摘要

一种密封品检漏装置，由气源、充压阀、第一平衡阀、第二平衡阀、差压压力传感器、基准件、基准件密封容器、被测件和被测件密封容器组成且通过气路管道相连，其中被测件管路与基准件管路并联且分别与差压压力传感器相连，在被测件管路和基准件管路上分别设置大漏率检测阀和配容容器；配容容器的容积相等且为被测件密封容器的容积减去被检件的体积；被测件密封容器与基准件密封容器的容积相等且能够放入被测件、基准件即可。本实用新型的优点是：该装置结构简单、操作方便、成本低；由于检测气路均采用气控阀，动作时不产生热量，保证了压差的检测精度；且检漏过程不破坏被测件，特别适用于电子芯片等密封品的检漏。

主权项

1.一种密封品检漏装置，由气源、充压阀、第一平衡阀、第二平衡阀、差压压力传感器、基准件、基准件密封容器、被测件和被测件密封容器组成且通过气路管道相连，其中第一平衡阀、被测件和被测件密封容器构成的管路与第二平衡阀、基准件和基准件密封容器构成的管路并联且分别与差压压力传感器相连，其特征在于：在第一平衡阀、被测件和被测件密封容器构成的管路上设置第一大漏率检测阀和第一配容容器；在第二平衡阀、基准件和基准件密封容器构成的管路上设置第二大漏率检测阀和第二配容容器；第一、第二配容容器的容积相等且为被测件密封容器的容积减去被测件的体积；被测件密封容器与基准件密封容器的容积相等且能够放入被测件、基准件即可。