[实用新型]研磨装置有效
| 申请号： | 200720073815.8 | 申请日： | 2007-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN201115930Y | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 周海锋;高喜峰;王大帮;蔡宗成 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/304;B24B55/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种研磨装置，涉及半导体领域的制造设备。该研磨装置包括研磨头、控制器以及连接研磨头和控制器的孔轴，孔轴具有气体流通管道，控制器控制孔轴内的气体在气体流通管道内的流动状况，该研磨装置在孔轴上安装有过滤器，其可将研磨头产生的碎片过滤掉。而且该过滤器可拆卸地安装在孔轴上。与现有技术相比，本实用新型研磨装置通过在孔轴上设置过滤器将产生的碎片过滤掉，有效保护控制器不受损坏，过滤器比控制器成本低，更换过滤器比更换控制器，可有效降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
【主权项】：
1.一种研磨装置，其包括研磨头、控制器以及连接研磨头和控制器的孔轴，孔轴具有气体流通管道，控制器控制孔轴内的气体在气体流通管道内的流动状况，其特征在于：该研磨装置在孔轴上安装有过滤器。
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