[实用新型]一种耐磨的辅助喷嘴及其制造设备

摘要

本实用新型涉及一种耐磨的辅助喷嘴及其制造设备，辅助喷嘴包括喷管(1)和套筒(2)，表面有一层含硅类金刚石薄膜，其制造设备由真空部分、真空反应部分、产生等离子体部分以及检测部分四个部分组成，包括真空计(1)、靶(2)、基片(3)、样品台(4)、真空系统(5)、磁场(6)和谐振(7)，基片(3)放置在样品台(4)上，通过靶(2)作为溅射来源制备含硅类金刚石薄膜，该薄膜具有高硬度和高弹性模量，优异的耐磨性和低摩擦系数，极高的化学惰性。提高了辅助喷嘴的使用寿命，降低喷气织机的使用成本。

主权项

1.一种耐磨的辅助喷嘴，包括喷管(1)和套筒(2)，其特征在于：表面有一层含硅类金刚石薄膜。