[实用新型]用于存放光罩的光罩架无效
| 申请号： | 200720069180.4 | 申请日： | 2007-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN201035321Y | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 郑丹;何少平;杨颖 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于存放光罩的光罩架，涉及半导体制造领域的装置。该光罩架包括架体及数个隔板，所述架体包括两侧板和连接两侧板的后板，光罩从架体的前端竖直放置于每层隔板上，所述隔板以倾斜的方式安装于两侧板上，且隔板靠近架体前端的高度高于靠近架体后板的高度。与现有技术相比，本实用新型的光罩架采用倾斜隔板有效增加了存放光罩的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 放光 光罩架 | ||
【主权项】：
1.一种用于存放光罩的光罩架，其包括架体及数个隔板，所述架体包括两侧板和连接两侧板的后板，光罩从架体的前端竖直放置于每层隔板上，其特征在于：所述隔板以倾斜的方式安装于两侧板上，且隔板靠近架体前端的高度高于靠近架体后板的高度。
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