[实用新型]一种用于制备PN结的高温炉门自动密闭结构装置无效
| 申请号： | 200720062149.8 | 申请日： | 2007-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN201016565Y | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 向小龙 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | F27D1/18 | 分类号： | F27D1/18;H01L21/22;H01L21/00 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于制备PN结的高温炉门自动密闭结构装置，包括石英炉门、石英反应管和碳化硅悬臂桨，所述石英炉门安装在所述石英反应管一端且它与该石英反应管端面之间装有密封圈，所述石英炉门外侧面设有一中空圆柱体，石英反应管中的碳化硅悬臂桨的一端通过所述中空圆柱体的内腔而伸至石英反应管外，所述中空圆柱体与碳化硅悬臂桨结合部位外套有四氟波纹管，石英反应管内靠近石英炉门处放置有隔热包块，压缩弹簧对石英炉门施加有预紧力。本装置实现了工艺高温扩散工艺过程与外界大气环境完全隔离，不受外界条件变化的影响从而确保扩散工艺过程可控性与可预见性，大大提高了扩散质量的均匀性，且延长了设备的使用年限。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 pn 高温 炉门 自动 密闭 结构 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于制备PN结的高温炉门自动密闭结构装置，包括石英炉门(8)、四氟波纹管(7)、石英反应管(4)和碳化硅悬臂桨(6)，其特征在于，所述石英炉门(8)安装在所述石英反应管(4)一端且它与该石英反应管(4)端面之间装有密封圈(3)，所述石英炉门(8)外侧面设有一中空圆柱体(9)，石英反应管(4)中的碳化硅悬臂桨(6)的一端通过所述中空圆柱体(9)的内腔而伸至石英反应管(4)外，所述中空圆柱体(9)与碳化硅悬臂桨(6)结合部位外套有四氟波纹管(7)而使其与碳化硅悬臂桨(6)成密封软连接，石英反应管(4)内靠近石英炉门(8)处放置有内部为石英隔热纤维的圆柱形的隔热包块(5)，装在支架(10)上的压缩弹簧(1)对石英炉门(8)施加有预紧力。
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