[发明专利]致动器装置的制造方法以及致动器装置和液体喷射头

摘要

本发明提供一种下电极和基底与氧化锆层的结合力优良的致动器装置的制造方法以及致动器装置和液体喷射头。包括在基板的一侧面形成Zr层的工序，对该Zr层进行氧化以形成ZrO₂层的工序、在所述ZrO₂层上形成下电极的工序、在所述下电极上形成压电体层的工序和在所述压电体层上形成上电极的工序，其特征在于在形成所述Zr层的工序中，在使Zr结晶成长形成的同时，成膜以形成Zr层，所述Zr层在与所述基板相反侧的表面上具有高度为10－100nm、俯视大小为直径0.1－1μm的突出的特别结晶区域，所述特别结晶区域的密度为1.0×10⁶－1.0×10⁸个/cm²。

主权项

1.一种致动器装置的制造方法，其特征在于，包括：在基板的一侧面形成Zr层的工序；将该Zr层氧化而形成ZrO2层的工序；在所述ZrO2层上形成下电极的工序；在所述下电极上形成压电体层的工序；和在所述压电体层上形成上电极的工序，在形成所述Zr层的工序中，在使Zr结晶成长而形成的同时，以如下方式成膜Zr层，即：在所述基板的相反侧的表面上具有高度为10-100nm、俯视大小为直径0.1-1μm的突出的特别结晶区域，且该特别结晶区域的密度为1.0×106-1.0×108个/cm2。