[发明专利]致动器装置的制造方法以及致动器装置和液体喷射头

权利要求书

1.一种致动器装置的制造方法，其特征在于，包括：

在基板的一侧面形成Zr层的工序；

将该Zr层氧化而形成ZrO₂层的工序；

在所述ZrO₂层上形成下电极的工序；

在所述下电极上形成压电体层的工序；

和在所述压电体层上形成上电极的工序，

在形成所述Zr层的工序中，在使Zr结晶成长而形成的同时，以如下方式成膜Zr层，即：在所述基板的相反侧的表面上具有高度为10-100nm、俯视大小为直径0.1-1μm的突出的特别结晶区域，且该特别结晶区域的密度为1.0×10⁶-1.0×10⁸个/cm²。

2.如权利要求1所述的致动器装置的制造方法，其特征在于，

在形成所述Zr层的工序中，在使Zr结晶成长而形成的同时，以如下方式成膜Zr层，即：在所述基板的相反侧的表面上具有高度为16.0-40.6nm、俯视大小为直径0.3-0.5μm的突出的特别结晶区域，且该特别结晶区域的密度为1.11×10⁷-1.25×10⁷个/cm²。

3.如权利要求1所述的致动器装置的制造方法，其特征在于，

在形成所述Zr层的工序中，在所述基板上形成SiO₂层后，在所述SiO₂层上形成所述Zr层。

4.如权利要求1所述的致动器装置的制造方法，其特征在于，

所述基板的所述一侧面由金属氧化物构成，在形成所述Zr层的工序中，在所述基板上直接形成所述Zr层。

5.如权利要求1所述的致动器装置的制造方法，其特征在于，

在形成所述Zr层的工序中，通过溅射法形成所述Zr层。

6.一种致动器装置，其特征在于，

所述致动器装置由权利要求1所述的制造方法形成。

7.如权利要求6所述的致动器装置，其特征在于，

所述ZrO₂层在所述下电极侧的表面具有通过所述特别结晶区域被氧化而形成的突出部，所述突出部高度为10-100nm、俯视大小为直径0.1-1μm，在所述ZrO₂层上以1.0×10⁶-1.0×10⁸个/cm²的密度存在。

8.如权利要求7所述的致动器装置，其特征在于，

所述突出部的高度为16.0-40.6nm、俯视大小为直径0.3-0.5μm，在所述ZrO₂层上以1.11×10⁷-1.25×10⁷个/cm²的密度存在。

9.如权利要求7所述的致动器装置，其特征在于，

所述下电极在所述压电层一侧的表面上具有通过所述ZrO₂层的所述突出部而突出的凸部，所述凸部高度为10-100nm、俯视大小为直径0.1-1μm，在所述下电极上以1.0×10⁶-1.0×10⁸个/cm²的密度存在。

10.如权利要求9所述的致动器装置，其特征在于，

所述凸部的高度为16.0-40.6nm、俯视大小为直径0.3-0.5μm，在所述下电极上以1.11×10⁷-1.25×10⁷个/cm²的密度存在。

11.一种液体喷射头，其特征在于，

作为用于使液体喷射的液体喷出装置，具有权利要求6-10中任意一项所述的致动器装置。