[发明专利]合成碳纳米管的装置及方法有效

专利信息
申请号: 200710306635.4 申请日: 2007-12-29
公开(公告)号: CN101293643A 公开(公告)日: 2008-10-29
发明(设计)人: 金炯俊;黄湖水;赵重根 申请(专利权)人: 细美事有限公司
主分类号: C01B31/02 分类号: C01B31/02;B82B3/00
代理公司: 上海恩田旭诚知识产权代理有限公司 代理人: 尹洪波
地址: 韩国忠南天*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 一种包括反应室、承载料盒、传送部、加热器、供气部和排气部的合成碳纳米管的装置。所述碳纳米管是在反应室中合成的。反应室具有基本垂直的长轴。承载料盒承载多个基板。传送部沿着基本平行于长轴的方向,将承载料盒装入反应室或从反应室中取出。加热器加热反应室。供气部向反应室供给合成碳纳米管用的气体。排气部从反应室排出剩余气体。碳纳米管可方便收集,反应室可有效管理,碳纳米管生产率高。
搜索关键词: 合成 纳米 装置 方法
【主权项】:
1、一种合成碳纳米管的装置,其特征在于,该装置包括:具有基本垂直的长轴的反应室;承载多个基板的承载料盒;沿基本平行于所述长轴的方向传送所述承载料盒的传送部,以将所述承载料盒装到所述反应室内,或将所述承载料盒从所述反应室取出;用于加热所述反应室的加热器;向所述反应室供给合成所述碳纳米管用气体的供气部;及从所述反应室排出剩余气体的排气部。
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