[发明专利]平板式三维定位/扫描装置无效
| 申请号： | 200710304237.9 | 申请日： | 2007-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN101221116A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 商广义;蔡微;徐平;姚骏恩 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01N13/10 | 分类号： | G01N13/10 |
| 代理公司： | 北京永创新实专利事务所 | 代理人： | 周长琪 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于压电陶瓷管的平板式三维定位/扫描装置，其结构组成主要包括：1个矩形固定架、8个压电陶瓷管、16个绝缘片、8个弹性片、四个固定座以及1个样品台。每个压电陶瓷管的两端都粘接一个绝缘片，一端的绝缘片连同压电陶瓷管固定在矩形固定架的一个固定座上，另外一端的绝缘片粘接弹性片一端，位于中心位置的样品台固定到8个弹性片的另一端，形成柔性支撑结构。将8个压电陶瓷管外壁(或内壁)的4个电极按特定方式组合连接成三对电极，而其内壁(或外壁)的电极接地；三对电极分别与三对驱动电压连接，可实现三维定位和扫描，并具有微米量级的扫描范围和纳米级分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 平板 三维 定位 扫描 装置 | ||
【主权项】：
1.平板式三维定位/扫描装置，包括：1个矩形固定架、8个压电陶瓷管、16个绝缘片、8个弹性片、四个固定座以及1个样品台，每个压电陶瓷管的两端都粘接一个绝缘片，并且两端分别与固定座和弹性片连接；4个固定座分别处于矩形固定架中四个边框的一端；弹性片与中心位置的样品台连接，形成柔性支撑机构。
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