[发明专利]用于磁场增强等离子体反应器中成形磁场的方法无效
| 申请号： | 200710301836.5 | 申请日： | 2007-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101222813A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 斯科特·A·霍根逊;罗杰·艾伦·林迪;丹尼尔·J·霍夫曼 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/10 | 分类号： | H05H1/10;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在此提供一种用于在工艺腔室中旋转磁场的方法。在一个实施方式中，一种用于旋转工艺腔室中的磁场的方法包括：形成具有主形状的磁场；将所述主形状该改变为至少两个连续的过渡形状；以及将所述过渡步骤改变为旋转后的主形状。可选地，所述磁场可在整个每个蚀刻步骤中保持为大约恒定的大小。可选地，供应到一个或多个磁场产生线圈的一支电流的最大值等于零或者具有在任何两个邻近步骤之间反转的极性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 磁场 增强 等离子体 反应器 成形 方法 | ||
【主权项】：
1.一种旋转工艺腔室中磁场的方法，包含：形成具有主形状的磁场；将所述主形状改变为至少两个连续的过渡形状；以及将所述过渡步骤改变为旋转后的主形状。
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