[发明专利]液滴喷出头、转换元件、压电装置、机电系统结构、执行机构、压电传感器、压电电动机

摘要

本发明提供了液滴喷出头、转换元件、压电装置、机电系统结构、执行机构、压电传感器、压电电动机。为了实现从喷墨打印机输出的打印物的高精细化及提高印刷速度，不断推进提高液滴喷出头的实装密度的高密度化。随着高密度化，要求细微化液滴喷出头。当液滴喷出头得到细微化时，用于液滴喷出头的压电薄膜上产生的、相对于液滴喷出变为无效应力的剪应力增大，导致液滴喷出头的寿命特性下降等。本发明中，作为打印头(80)的构成要素的材料加压体(69)的侧面配置有槽(81)。由于槽的存在，材料加压体容易变形，附加给材料加压体的剪应力减少，提高打印头的寿命特性。由于剪应力被分为拉伸/压缩应力，与现有结构相比，可以增大压力室的体积变动。

主权项

1. 一种液滴喷出头，其特征在于，包括：基板；腔部，位于所述基板的第一面侧；压电薄膜，位于所述基板的第二面侧，并配置在与所述腔部对置的区域上；盖部，位于所述基板的所述第一面侧，具有贯穿孔，且配置成覆盖所述腔部；以及槽，位于所述基板的所述第二面侧，并配置在沿所述压电薄膜的端部的方向上。