[发明专利]蒸镀装置无效
| 申请号： | 200710202698.5 | 申请日： | 2007-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN101445907A | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | 王仲培 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种蒸镀装置，包括一用于容置一蒸镀材料的坩埚，所述坩埚顶部具有一开口。所述蒸镀装置还包括一套设在所述坩埚开口上的遮罩，所述遮罩的底部具有一与所述坩埚顶部开口相配合的开口，所述遮罩的顶部具有多个气流通孔，所述遮罩的侧壁具有一入口，所述入口用于供加热所述坩埚内蒸镀材料用的能量束入射到坩埚内的蒸镀材料上。本发明提供的蒸镀装置可有效防止蒸镀腔室被污染。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
【权利要求1】一种蒸镀装置，包括一用于容置一蒸镀材料的坩埚，所述坩埚顶 部具有一开口，其特征在于：所述蒸镀装置还包括一套设在所述坩埚开口上的遮罩，所述遮 罩的底部具有一与所述坩埚顶部开口相配合的开口，所述遮罩的顶部具有多个气流通孔，所 述遮罩的侧壁具有一入口，所述入口用于供加热所述坩埚内蒸镀材料用的能量束入射到坩埚 内的蒸镀材料上。
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