[发明专利]镀膜治具及镀膜装置无效
| 申请号： | 200710202477.8 | 申请日： | 2007-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN101435072A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 凌维成 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种镀膜治具，其包括：至少一转轴，及与所述转轴连接的至少一具有立体结构的基片夹具模组，所述转轴用于带动所述基片夹具模组转动，所述基片夹具模组由围绕所述转轴排布的至少三个所述基片夹具构成。本发明还涉及一种采用所述镀膜治具的镀膜装置。所述镀膜治具及镀膜装置采用立体结构的基片夹具模组以承载光学元件，其空间利用率高，单位空间中，承载的光学元件数量多，因此，在一定程度上减少镀膜制程中对容器抽真空及破真空的次数，从而提高镀膜治具及镀膜装置的生产效率以及降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
【权利要求1】一种镀膜治具，其特征在于：其包括至少一转轴，及与所述转轴连接的至少一具有立体结构的基片夹具模组，所述转轴用于带动所述基片夹具模组转动，所述基片夹具模组由围绕所述转轴排布的至少三个所述基片夹具构成。
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