[发明专利]接触式测量装置有效
申请号: | 200710201026.2 | 申请日: | 2007-07-06 |
公开(公告)号: | CN101339084A | 公开(公告)日: | 2009-01-07 |
发明(设计)人: | 刘庆;李军旗 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | G01L1/26 | 分类号: | G01L1/26;G01L1/02 |
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地址: | 518109广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种接触式测量装置,其包括测量端子,该测量端子接触被测量物表面进行测量,该接触式测量装置上设有至少一个用于驱动该测量端子的驱动气缸,至少一个驱动气缸由作用在该驱动气缸外侧壁上的流动气体驱动,该气体部分排出而使该驱动气缸具较小之驱动压力。 | ||
搜索关键词: | 接触 测量 装置 | ||
【主权项】:
1.一种接触式测量装置,其包括测量端子,该测量端子接触被测量物表面进行测量,其特征在于:该接触式测量装置上设有至少一个用于驱动该测量端子的驱动气缸;至少一个驱动气缸由作用在该驱动气缸外侧壁上的流动气体驱动,该气体部分排出而使该驱动气缸具较小之驱动压力。
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